|
Фотоповторитель предназначен для изготовления
металлизированных эталонных и рабочих фотошаблонов в полупроводниковых приборов и интегральных микросхем методом проекционного переноса.
Фотоповторитель работает в автоматическом режиме и
дистанционно управляется оператором. В основе его работы лежит способ
последовательного переноса (мультипликации) уменьшенного изображения
промежуточного фотооригинала на заготовку фотошаблона. Установка
последовательно работает в следующих автоматических режимах:
- загрузка заготовок шаблонов из подающей кассеты на столик каретки координатного стола;
- фиксация заготовок шаблонов на рабочем столике;
- мультипликация уменьшенного изображения промежуточного фотооригинала с автоматической фокусировкой на каждом модуле;
- разгрузка проэкспонированных шаблонов в приемную кассету;
- выбор и смена промежуточных шаблонов из библиотеки (10 шт.).
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
|
| Производительность при времени экспонирования 0,35 с и шаге мультипликации (10 х 10) мм
на фотопластинах (127 х 127) мм (61 модуль), фотошаблонов/ч,
не менее | 35 | | Рабочее поле перемещения каретки координатного стола,
мм | 200 х 200 | | Погрешность позиционирования каретки координатного стола по координатам Х и Y,
мкм, не более | ±0.25 | | Невоспроизводимость позиционирования каретки
координатного стола по координатам X и Y, мкм,
не более | 0.2 | | Масштаб проекционного уменьшения объектива | 1:5 | | Максимальный размер модуля на фотошаблоне,
мм | 16 х 16 | Размер минимальный элемент на поле модуля:
(10 х 10) мм, мкм
(16 х 16) мм, мкм |
0.7
0.8 | | Невоспроизводимость размера минимального разрешаемого элемента (линии, промежуток), мкм не более | ±0.1 | | Размеры заготовок шаблонов,
дюймы (мм) | 5 x 5 (127 х 127)
6 x 6 (153 х 153)
7 x 7 (178 х 178)
| | Размеры промежуточных фотооригиналов,
дюймы (мм) | 5 x 5 (127 х 127) | | Масса фотоповторителя,
кг | 2900
|
Фотоповторитель предназначена для эксплуатации в чистом помещении. Устройство оптико-механическое - класс 100.
Управляющий комплекс - класс 10 000. Электропитание установки осуществляется от сети переменного тока 230В, 50 Гц; потребляемая мощность до 3 кВт; занимаемая площадь 12 кв.м (8 кв.м - в помещении класса 100 и 4 кв.м - в помещении класса 10 000).
|
Планар (КБТЭМ)
