«КБТЭМ-ОМО»
ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО
 
ЭМ-5162 Фотоповторитель

 

ЭМ-5062М Фотоповторитель

 

 

Фотоповторитель предназначен для изготовления металлизированных эталонных и рабочих фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов, БИС и СБИС.

 

Фотоповторитель работает в автоматическом режиме и дистанционно управляется оператором. В основе его работы лежит способ последовательного переноса (мультипликации) уменьшенного изображения промежуточного фотооригинала на заготовку фотошаблона. Установка последовательно работает в следующих автоматических режимах:

  • загрузка заготовок шаблонов из подающей кассеты на столик каретки координатного стола;
  • фиксация заготовок шаблонов на рабочем столике;
  • мультипликация уменьшенного изображения промежуточного фотооригинала с автоматической фокусировкой на каждом модуле;
  • разгрузка проэкспонированных шаблонов в приемную кассету;
  • выбор и смена промежуточных шаблонов из библиотеки (10 шт.).

 

Технические характеристики фотоповторителя

Производительность при времени экспонирования 0,35 с и шаге мультипликации (10 х 10) мм
на фотопластинах (127 х 127) мм (61 модуль)
35 фотошаблонов/ч
не менее
Рабочее поле перемещения каретки координатного стола (200 х 200) мм
Погрешность позиционирования каретки координатного стола по координатам Х и Y ±0,25 мкм не более
Невоспроизводимость позиционирования каретки
координатного стола по координатам X и Y
0,2 мкм не более
Масштаб проекционного уменьшения объектива 1:5
Максимальный размер модуля на фотошаблоне (16 х 16) мм
Размер минимальный элемент на поле модуля:
(10 х 10) мм
(16 х 16) мм
0,7 мкм не более
0,8 мкм не более
Невоспроизводимость размера минимального разрешаемого элемента (линии, промежуток) ±0.1 мкм не более
Размеры заготовок шаблонов 5” x 5” (127 х 127) мм
6” x 6” (153 х 153) мм
7” x 7” (178 х 178) мм
Размеры промежуточных фотооригиналов 5” x 5” (127 х 127) мм
Масса фотоповторителя 2700 кг

 

Условия эксплуатации

Фотоповторитель предназначена для эксплуатации в чистом помещении. Устройство оптико-механическое - класс 100.
Управляющий комплекс - класс 10 000. Электропитание установки осуществляется от сети переменного тока 230В, 50 Гц;
потребляемая мощность до 3 кВт; занимаемая площадь 12 м2 (8 м2 - в помещении класса 100 и 4 м2 - в помещении класса 10 000).